Pfeiffer Vacuum UDV 040 Manual de usuario

Betriebsanleitung inkl. Herstellererklärung

Operating manual

incl. Manufacturer’s declaration

Mode d’emploi incl. Déclaration du fabricant

BP 805 003 BN / B (9905) 1

Ganzmetall-Regelventil

All-metal regulating valve

Vanne tout métal de régulation

UDV 040

UDV 140

Montage

Bedienung

Technische Daten

Wartung

Installation

Operation

Technical data

Maintenance

Montage

Fonctionnement

Caractéristiques techniques

Entretien

Dosierung

Dosing

Dosage

manuell

manual

manuel

geregelt

regulated

reglé

(UDV 140)

BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om 2

Die Ganzmetall-Regelventile UDV040 und

UDV 140 dienen dem kontrollierten Ein-

lass von Gasen in Vakuumsysteme. Sie

zeichnen sich durch präzisen und reprodu-

zierbaren Gaseinlass aus und eignen sich

besonders für den Einsatz

• in der Gas- und Oberflächenanalytik

• in der Massenspektrometrie

• in der Kernphysik, Beschleuniger

• in der Katodenzerstäubung

(sputtering)

• in der Vakuum- und Lasertechnik

• bei der Handhabung reinster Gase

• beim Belüften von UHV-Systemen

Das UDV 040 ist für den manuellen, das

UDV 140 (in Verbindung mit einer Steue-

rung) für den geregelten Gaseinlass kon-

zipiert.

The UDV 040 and UDV140 all-metal

regulating valves are used for controlled

gas inlet into vacuum systems. They dis-

tinguish themselves through precise and

reproducible gas inlet and are especially

suited for use in

•

gas and surface analysis

•

mass spectrometry

•

nuclear physics, accelerators

•

cathode sputtering

•

vacuum and laser technology

•

handling of very pure gases

•

venting of UHV systems

The UDV 040 is conceived for manual, the

UDV 140 (in conjunction with a control

unit) for regulated gas inlet.

Les vannes tout métal de régulation

UDV 040 et UDV 140 ont été conçues

pour l'admission contrôlée de gaz dans les

systèmes à ultra-vide. Elles se distinguent

par leur dosage précis et reproductible et

conviennent en particulier aux utilisations

suivantes:

• analyse de gaz et de surfaces

• spectrométrie de masse

• physique nucléaire, accélérateurs

• pulvérisation cathodique (sputtering)

• technique du vide et technique laser

• travail avec des gaz très purs

• entrée d'air dans les systèmes à ultra-

vide

On utilise l'UDV 040 pour l'admission ma-

nuelle de gaz, l'UDV 140 (avec un appareil

de commande) pour l'admission régulée

de gaz.

BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om 3

Gültigkeit

Dieses Dokument ist gültig für Produkte

mit den Artikelnummern

PF I52 031 (UDV 040)

PF I52 032 (UDV 140)

Sie finden die Artikelnummer auf dem

Typenschild.

Technische Änderungen ohne vorherige

Anzeige sind vorbehalten.

Validity

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PF I52 031

(UDV 040)

PF I52 032

(UDV 140)

The part number can be taken from the

nameplate.

We reserve the right to make technical

change without prior notice.

Validité

Ce document est valable pour les produits

avec les numéros de référence

PF I52 031 (UDV 040)

PF I52 032 (UDV 140)

Le numéro de référence figure sur la

plaque signalétique.

Nous nous réservons le droit d'apporter

des modifications techniques sans avis

préalable.

BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om 4

1 Sicherheit

1.1 Grundlegende Sicher-

heitsvermerke

a) Beachten Sie beim Umgang mit den

verwendeten Prozessmedien die ein-

schlägigen Vorschriften und halten Sie

die Schutzmassnahmen ein.

Berücksichtigen Sie mögliche Reaktio-

nen zwischen Werkstoffen (→

22)

und Prozessmedien.

b) Bei Betriebstemperaturen über 55 °C

sind zum Bedienen Schutzhandschuhe

zu verwenden (→

14).

c) Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung

der einschlägigen Vorschriften und

Einhaltung der Schutzmassnahmen

zulässig. Beachten Sie zudem die in

diesem Dokument angegebenen Si-

cherheitsmassnahmen (→

26, 36).

d) Zur Reparatur eingesandte Produkte

müssen frei von Schadstoffen sein

(z.B. radioaktiver, toxischer, ätzender

oder mikrobiologischer Art). Nicht ein-

deutig als "fei von Schadstoffen"

deklarierte Produkte werden kosten-

pflichtig dekontaminiert.

Geben Sie die Sicherheitsvermerke an

alle anderen Benutzer weiter.

1 Safety

1.1 General safety

instructions

a) Adhere to the applicable regulations

and take the necessary precautions

for the process media used.

Consider possible reactions between

the materials (

→

23) and the

process media.

b) Protective gloves are required to ope-

rate the valve at operating temperatu-

res above 55 °C (

→

14).

c) Adhere to the applicable regulations

and take the necessary precautions

for all work you are going to do and

consider the safety instructions in this

document (

→

26, 36).

d) Products returned to Pfeiffer Vacuum

for repair must be free of harmful

substances (e.g. radioactive, toxic,

caustic or microbiological). Products

that are not clearly declared as "free of

harmful substances" are

decontaminated at the expense of the

customer.

Communicate the safety instructions to all

other u

sers.

1Sécurité

1.1 Indications générales

a) Observer les prescriptions essentielles

et prendre les précautions afférentes

aux média de processus.

Considérer les réactions possibles en-

tre les matériaux du produit (→

24)

et les média de processus.

b) Utiliser des gants pour intervenir sur la

vanne à une température supérieure à

55 °C (→

14).

c) Observer les prescriptions essentielles

et prendre les précautions appropriées

concernant tous les travaux. Tenir

également comte des dispositions de

précaution figurant dans ce document

(→

26, 36).

d) Les produits qui nous sont envoyés en

vue de réparation doivent être

exempts de substances nocives (soit

radioactives, toxiques, corrosives ou

microbiologiques). En absence d'une

déclaration univoque confirmant que le

produit est "exempt de substances

nocives", le produit est décontaminé

aux frais du client.

Communiquer les indications concernant

la sécuritée aux autres utilisateurs s.v.p.

BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om 5

1.2 Zeichenerklärung

GEFAHR:

Angaben bzw. Ge- und Verbote

zur Verhütung von Personen- oder

umfangreichen Sachschäden.

ACHTUNG:

Besondere Angaben bzw. Ge- und

Verbote zur Schadenverhütung.

HINWEIS:

Besondere Angaben zur

wirtschaftlichen Verwendung.

040

gültig für UDV 040

140

gültig für UDV 140

1.2 Explanation of symbols

DANGER:

Information on preventing personal

injury or extensive equipment da-

mage.

CAUTION:

Special information on damage

prevention.

NOTE:

Special information on cost-effec-

tive use.

040

valid for UDV 040

140

valid for UDV 140

1.2 Explication des signes

DANGER:

Indications, directives et interdic-

tions concernant la prévention de

dommages corporels ou d'impor-

tants dégâts matériels.

ATTENTION:

Indications particulières, directives

et interdictions concernant la pré-

vention de dommages.

NOTE:

Indications particulières concer-

nant l'utilisation économique.

040

valable pour UDV 040

140

valable pour UDV 140

1.3 Allgemeine Bestimmun-

gen

Pfeiffer Vacuum übernimmt keine

Verantwortung und Gewährleistung, falls

am Produkt Eingriffe jeglicher Art

vorgenommen werden.

Die Verantwortung in Zusammenhang mit

den verwendeten Prozessmedien liegt

beim Betreiber.

1.3 General stipulations

Pfeiffer Vacuum assumes no liability and

the warranty becomes null and void if any

kind of changes are made to the product.

The end-user carries the responsibility in

conjunction with the process media used.

1.3 Prescriptions générales

Pfeiffer Vacuum ne supporte aucune

responsabilité ni garantie dans le cas où le

détenteur ou des tiers apportend des

changements au produit.

Le détenteur supporte la responsabilité

relative aux média de processus utilisés.

BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om 6

2 Montage

HINWEIS:

Schmutz und Beschädigungen be-

einträchtigen die Funktion von

Vakuumkomponenten. Beachten

Sie beim Umgang mit Vakuum-

komponenten die Regeln in bezug

auf Sauberkeit und Schutz vor

Beschädigung.

2 Installation

NOTE:

Dirt and damages impair the func-

tion of the vacuum component.

When handling vacuum compo-

nents, take appropriate measures

to ensure cleanliness and prevent

damages.

2 Installation

NOTE:

Tout encrassement ou endomma-

gement porte atteinte au fonction-

nement des composants à vide.

En utilisant des composants à

vide, prendre les mesures

appropriées pour assurer la

propreté et la prévention des

endommagements.

BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om 7

Anschlussmöglichkeiten

Connection possibilities

Possibilités de raccordement

Fig. 1

Steuerung

Control unit

Appareil de commande Pmax. = 1.5 mbar

UDV 040 / 140

BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om 8

2.1 Kapillare für örtlich definierten Gaseinlass

Capillary for precisely routing the gas flow

Tube capillaire pour réaliser l'admission dirigée de gaz

040

140

Fig. 2

ø2 × 0.5

1000

BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om 9

2.2 Montage an das Vakuumsystem

Installation in the vacuum system

Montage au système à vide

85.5

98.2

DN 40 CF-F

nicht verstellen

do not adjust

ne pas régler

Fig. 3a

Achten Sie auf gute Zugänglichkeit

Ensure good accessibility

Faire attention à l'accessibilité

Fig. 3b

Fig. 3c

Gasflussrichtung

Direction of gas flow

Direction du flux de gaz

Fig. 3d ∆p = max. 30 bar

Weitere Technische Daten →

Further technical

data →

Caractéristiques techniques supplémentaires→

BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om 10

2.3 Anschluss des Gaseinlasssystems

Connecting the gas inlet system

Raccorder l’admission de gaz

040

140

Achten Sie bei der Herstellung der VCR-Verbindung insbesondere

auf folgende Punkte:

Pay special attention to the following points when establishing the

VCR connection:

En assurant la connexion VCR porter une attention particulière aux

points suivants:

• Komponenten fluchtig ausrichten

Align components

Maintenir les éléments dans un bon

alignement

• Fingerfest anziehen

Use your fingers to tighten

Ne pas serrer trop fort

• 1/8Umdrehung

turn

1/8tour

Festhalten

Hold

Tenir ferme

HINWEIS: Beschädigte oder verschmutzte Dichtlippen beeinträchtigen die Dichtheit.

NOTE: Damaged or contaminated sealing lips reduce the tightness.

NOTE: Des surfaces d'étanchéité endommagées ou contaminées reduisent l'étanchéité.

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WAGO

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