Beschreibung
Inhalt
Seite
1 Beschreibung..................................................... 2
1.1 Lieferumfang...................................................... 3
1.2 Bestell-Daten..................................................... 3
1.3 Technische Daten.............................................. 3
2 Anschluss .......................................................... 4
2.1 Umweltbedingungen.......................................... 4
2.2 Pumpe an den Vakuumbehälter anbauen......... 5
2.3 Vorvakuum-Anschluss....................................... 6
2.4 Kühlung anschließen......................................... 7
2.5 Sperrgas und Belüftung anschließen ................ 7
2.6 TURBOTRONIK anschließen............................ 8
2.7 Rotorlager-Überwachung anschließen.............. 8
3 Betrieb ............................................................... 9
3.1 Einschalten........................................................ 9
3.2 Betrieb ............................................................... 9
3.3 Abschalten....................................................... 10
3.4 Belüften............................................................ 10
3.5 Pumpe aus der Anlage ausbauen................... 10
4 Wartung............................................................ 11
4.1 Service bei Leybold ......................................... 11
5 Fehlersuche..................................................... 12
EG-Herstellererklärung.................................... 13
The English Operating Instructions start on
page 14
Erläuterungen
Abbildungen
Abbildungshinweise, z. B. (2/10), geben mit der ersten Ziffer
die Abbildungsnummer an und mit der zweiten Ziffer die Posi-
tion in dieser Abbildung.
Vorsicht
Steht bei Arbeits- und Betriebsverfahren, die genau einzuhal-
ten sind, um eine Gefährdung von Personen auszuschließen.
Achtung
Bezieht sich aufArbeits- und Betriebsverfahren, die genau ein-
zuhalten sind, um Beschädigungen und Zerstörungen des
Gerätes zu vermeiden.
Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten
behalten wir uns vor.
Die Abbildungen sind unverbindlich.
1 Beschreibung
Die TURBOVAC 1100 C ist eine Turbo-Molekularpumpe
mit fettgeschmierten Lagern. Sie ist geeignet zum
Abpumpen von Vakuumbehältern auf Druckwerte im
Hochvakuumbereich. Zum Betrieb der TURBOVAC sind
ein Frequenzwandler TURBOTRONIK und eine Vorva-
kuumpumpe erforderlich.
Die Pumpen sind nicht geeignet zum Betrieb ohne Vor-
vakuumpumpe.
Die TURBOVAC 1100 C hat eine Rotorlager-Überwa-
chung Turbo Guard 3 mit Betriebsstundenzähler.
Medienverträglichkeit
Turbo-Molekularpumpen sind nicht geeignet zum För-
dern von Flüssigkeiten oder staubhaltigen Gasen.
Turbo-Molekularpumpen ohne Sperrgas sind nur geeig-
net zum Pumpen von Luft oder von inerten Gasen. Sie
sind nicht geignet zum Pumpen von reaktiven oder par-
tikelhaltigen Gasen, hierbei ist Sperrgasbetrieb notwen-
dig.
TURBOVAC mit einem „C“ in der Typenbezeichnung
haben eine Sperrgas-Einrichtung. Das Sperrgas schützt
nur den Lager-Bereich und den Motor der TURBOVAC.
Einige Medien (z.B. Aluminiumtrichlorid) können in der
Pumpe sublimieren und Beläge bilden. Dicke Beläge
führen zu Spielaufzehrung und damit zum Blockieren
der Pumpe. Bei einigen Prozessen kann die Belagbil-
dung durch Erwärmen der Pumpe verhindert werden.
Dazu erbitten wir Ihre Anfrage.
Ätzende Gase (z.B. Chlor) können die Rotoren zerset-
zen.
Bei Betrieb der TURBOVAC ist der Druck in der Pumpe
so gering, dass keine Zündgefahr besteht (bei Drücken
unter ca. 100 mbar). Gefahr besteht, wenn zündfähige
Gemische über 100 mbar Druck in die heiße Pumpe
gelangen. Die Pumpentemperatur bei Betrieb beträgt bis
zu 120 °C. Zündfunken sind im Schadensfall möglich
und können zur Explosion zündfähiger Gemische
führen.
Lassen Sie sich bitte von uns beraten, welche Medien
mit oder ohne Sperrgas gepumpt werden können.
Vorsicht Keine Körperteile dem Vakuum aussetzen.
2GA 05.128/7 - 05/2002
