
8510 High-Voltage Compressor (For Use With On-Board High-Vacuum Pumps)
P/N 8040265 iii
C
HELIX TECHNOLOGY CORPORATION
-
TI CRYOGENICS
Table of Contents
Section 1 - Introduction
General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
Installation, Operation and Service Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
Section 2 - Inspection
Packaging of the System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
The Compressor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
Section 3 - Installation
Compressor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
Preparing the Compressor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
Assembling the Compressor Input-Power Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Electrical Preparation of Compressor Control Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Cooling Water: Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Cooling Water: General Considerations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
Cooling Water: Flow and Pressure Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
Cooling Water: Temperature Rise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
Oil Circuit Stabilization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
Connecting the Compressor to the Cryopump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
Electrical Connection of Compressor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
8510 High-Voltage Compressor Electrical Phase Check and Automatic
ON/OFF Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
System Phase Input Checkout Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Automatic ON/OFF Control of the Compressor Using the On-Board
Setpoint Relays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Multipump Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
Section 4 - Maintenance Procedures
Scheduled Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Removing the Compressor Adsorber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Installing the Compressor Adsorber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
Unscheduled Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
Suggested Unscheduled Maintenance Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
Adding Helium Gas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
Helium Circuit Decontamination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
Cryopump Decontamination Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
Compressor Decontamination Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
Priming the Compressor Oil System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9